祝賀！中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司榮獲“河北省技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”

近日，2024年度河北省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)大會(huì)在石家莊召開，中船集團(tuán)七一八所旗下中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“公司”）“集成電路用高純鹵化氫氣體制備關(guān)鍵共性技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目榮獲河北省技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。

在集成電路制造中，高純電子氣體是僅次于硅片的第二大原材料，被稱為芯片制造的“血液”。作為電子氣體的重要成員，高純鹵化氫氣體是芯片制造過程中不可或缺的干式清洗及精準(zhǔn)蝕刻用氣體，對(duì)刻蝕的精準(zhǔn)性和芯片良率起決定性作用。

公司自2013年起致力實(shí)現(xiàn)高純鹵化氫電子氣體制備技術(shù)的自主創(chuàng)新，歷經(jīng)近10年攻關(guān)，成功攻克了制備、純化和分析檢測(cè)等環(huán)節(jié)的技術(shù)難題并形成了高純鹵化氫電子氣體制備的集成技術(shù)。

此次榮獲河北省技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)，不僅是對(duì)該項(xiàng)目技術(shù)成果的高度認(rèn)可，也是對(duì)公司長(zhǎng)期以來(lái)致力于科技創(chuàng)新的肯定。公司將以此為契機(jī)，進(jìn)一步加大科技創(chuàng)新投入，以科技創(chuàng)新賦能公司高質(zhì)量發(fā)展，為推動(dòng)電子特氣領(lǐng)域科技進(jìn)步作出更大貢獻(xiàn)。