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      • 前驅(qū)體的介紹

        2025-06-05

        字號

        前驅(qū)體通常為高純度化合物(如金屬有機化合物、氫化物等)。它們在氣相沉積(CVD、ALD)等工藝中經(jīng)汽化、分解或反應(yīng),在晶圓表面形成納米級薄膜(如金屬、氧化物、氮化物),是制造晶體管、互連結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵器件的核心材料,其純度和反應(yīng)可控性直接影響芯片性能與良率。

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        關(guān)于中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司年產(chǎn)3383噸高純硫化氫等電子氣體建設(shè)項目環(huán)境影響評價征求公眾意見的公告(第一次公示)

        《中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司年產(chǎn)3383噸高純硫化氫等電子氣體建設(shè)項目環(huán)境影響報告書》目前已委托河北奇正環(huán)境科技有限公司開始編制,現(xiàn)根據(jù)《環(huán)境影響評價公眾參與辦法》,為廣泛征求與該項目環(huán)境影響有關(guān)的意見,將本項目環(huán)境影響相關(guān)信息公開如下,

        2025-04-28

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        2024-11-15

        中船派瑞特種氣體(呼和浩特)有限公司高純電子氣體項目(一期) 環(huán)境影響評價公眾參與第一次公告

        項目名稱:中船派瑞特種氣體(呼和浩特)有限公司高純電子氣體項目(一期)

        2024-02-23

        中船派瑞特種氣體(呼和浩特)有限公司高純電子氣體項目(一期)環(huán)境影響評價征求意見稿公示

        歡迎對本工程的環(huán)境保護(hù)問題提出意見或建議,謝謝!

        2024-03-27

        中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司年產(chǎn)200噸高純六氟丁二烯裝置技改項目環(huán)境影響評價公眾參與首次信息公告

        依據(jù)《環(huán)境影響評價公眾參與辦法》(生態(tài)環(huán)境部令第4號),現(xiàn)對中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司年產(chǎn)200噸高純六氟丁二烯裝置技改項目環(huán)境影響評價工作進(jìn)行首次信息公告,并征求公眾意見。

        2025-09-09

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