電子特種氣體廣泛應用于集成電路、顯示面板等行業(yè)中光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，對于純度、穩(wěn)定性、包裝容器等具有較高的要求。電子特種氣體生產(chǎn)涉及合成、純化、分析檢測、充裝等多項工藝技術，具有較高技術壁壘。

電子特種氣體是集成電路、顯示面板、半導體照明、光伏等行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關鍵性材料，是集成電路制造的第二大制造材料，僅次于硅片，占晶圓制造成本的 13%。電子特種氣體廣泛應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，對于純度、穩(wěn)定性、包裝容器等具有較高的要求。電子特種氣體生產(chǎn)涉及合成、純化、分析檢測、充裝等多項工藝技術，具有較高技術壁壘。

集成電路、顯示面板、光伏等行業(yè)所用電子特種氣體數(shù)量超過100種，國內(nèi)主要生產(chǎn)企業(yè)為中船特氣、華特氣體、南大光電等。國內(nèi)電子特種氣體企業(yè)整體發(fā)展時間較短，在產(chǎn)品種類、工藝水平、綜合服務能力等方面依然與林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工等國際巨頭有差距，而且這種差距需要一定時間完成創(chuàng)新迭代。由于半導體產(chǎn)線上原材料純度和雜質(zhì)含量（ppm級甚至ppb級）細小的偏差可能造成整條產(chǎn)線的損失，客戶的試錯成本很高，加大了國內(nèi)企業(yè)進入新產(chǎn)品、新市場的難度。

電子特種氣體作為關鍵性電子材料，近年來得到國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務總局等部門相繼出臺一系列產(chǎn)業(yè)支持政策，有力推動了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。國內(nèi)氣體企業(yè)紛紛加大研發(fā)投入，不斷突破技術難關，逐步實現(xiàn)電子特種氣體產(chǎn)品的國產(chǎn)替代。