大宗氣體的介紹
電子大宗氣體是半導(dǎo)體等電子信息產(chǎn)業(yè)中用量大、供應(yīng)連續(xù)的基礎(chǔ)性氣體,包括氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣、氫氣、氦氣等。它們?cè)谛酒圃斓某练e、刻蝕、清洗等環(huán)節(jié)不可或缺,純度要求極高(通常達(dá)99.99%以上),其穩(wěn)定供應(yīng)和質(zhì)量直接影響電子器件性能與生產(chǎn)效率,是電子信息產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐要素。
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